[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-A105-7] ダブルカーリングプローブによる電子密度と堆積膜厚のその場同時計測のためのマイクロ波共振スペクトルの調査

〇(M1)加藤 翔太¹、中村 圭二¹、小川 大輔¹ (1.中部大工)

キーワード：カーリングプローブ、電子密度、堆積膜厚

ラングミュアプローブは、最も基本的なプラズマ計測法として挙げられるが、材料プロセスで用いられるプラズマは膜が堆積する場合があり、そのような電子密度計測には不向きとされている。それに対し、マイクロ波を用いたカーリングプローブは、マイクロ波領域における電磁波の共振現象を用いることでプラズマ中の電子密度を計測することが可能となる。本発表では、カーリングプローブを用いた最新の研究結果の報告を行う。