[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-A105-6] ターゲット有効利用のための小型マグネトロンプラズマのアレー状配置型高周波マグネトロンスパッタ源の開発

〇(M1)升永 龍之介¹、大津 康徳¹ (1.佐大院理工)

キーワード：高周波マグネトロンスパッタリング、小型マグネトロンプラズマ、ターゲット有効利用