[20p-A406-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-A406-1] ミニマルファブ装置の自動化処理におけるエラー解析

〇本郷 仁啓²、クンプアン ソマワン^2,1、原 史朗^2,1 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：ミニマルファブ

ミニマルファブ装置をデバイス製造工程と同等の使い方をして，生じた搬送エラーとプロセスエラー等を計測し，そこで生じた問題を考察した。