[20p-A406-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-A406-3] ミニマルファブ における CV 特性モニタリングによる製造工程管理

〇佐藤 和重¹、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研)

キーワード：ミニマルファブ

2017年よりCV特性に見られるようになった異常(ミニマルファブでの汚染の発生)について、その原因分析、そしてその原因の壊滅に至る諸方策について報告する。