[20p-A406-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-A406-4] ミニマル表面異物測定器の測定誤差要因

〇谷島 孝¹、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：ミニマル

ミニマル表面異物測定器では、近接した複数の微粒子は一つの微粒子としてカウントされる可能性があり、微粒子数が多くなるに従い、測定結果は実際より少なくなる傾向がある。今回、ウェハ上の微粒子数と測定カウント数の関係を計算により求め、どの程度の測定値まで信頼できるかの定量的な検討を行った。その結果、微粒子の分布がランダムであれば、ウェハ上で合計1,000個程度までは定量的な評価が可能であることが分った。