[20p-C306-1~9] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[20p-C306-1] [分科内招待講演] CVD成長環境下におけるSiC微斜面への水素被覆の理論研究

〇木村 友哉¹、長川 健太²、押山 淳²、白石 賢二^2,1 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：SiC、CVD、エピタキシャル成長