[20p-P04-1~21] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[20p-P04-10] 光電気化学(PEC)エッチングの自己停止とAlGaN/GaN HEMTのゲートリセス加工

〇富樫 拓也¹、伊藤 滉朔¹、越智 亮太¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター)

キーワード：窒化物半導体、窒化ガリウム