[20p-P04-1~21] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[20p-P04-14] n-GaN加工表面に対するコンタクトレス光電気化学(CL-PEC)エッチング (2)

〇大澤 由斗¹、大神 洸貴¹、越智 亮太¹、堀切 文正²、福原 昇²、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター、2.サイオクス)

キーワード：半導体、窒化ガリウム、コンタクトレス光電気化学エッチング