[21a-A102-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[21a-A102-6] 白金/酸化チタンナノ接合を用いた水素センサー

〇内藤 泰久¹、角谷 透¹、島 久¹、秋永 広幸¹ (1.産総研)

キーワード：水素センサー、ナノギャップ、チタン酸化膜

水素は脱炭素化における主要エネルギーの一つとして、近年盛んに利用技術が研究開発されているが、安全な運用の為にはそれを検知できるセンサーが必要不可欠である。その代表例として、金属酸化物と触媒金属を組み合わせたセンサーが盛んに研究されている。それらはナノ構造を取り入れることで高性能化を実現している。本研究では、PtとTiOxとの接合をナノ構造化することで水素センサーの高性能化を試みた。