2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/配線/集積化技術

[21a-C105-1~12] 13.5 デバイス/配線/集積化技術

2022年9月21日(水) 09:00 〜 12:15 C105 (C105)

木下 健太郎(東理大)、山内 智(茨大)

11:15 〜 11:30

[21a-C105-9] 無電解めっきによる微細配線応用に向けたRu膜の形成と評価

齊田 亮太1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1.関西大シス理工)

キーワード:無電解めっき