[21a-C105-1~12] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[21a-C105-9] 無電解めっきによる微細配線応用に向けたRu膜の形成と評価

〇齊田 亮太¹、清水 智弘¹、伊藤 健¹、新宮原 正三¹ (1.関西大シス理工)

キーワード：無電解めっき