[21a-C202-1~12] 17.3 Layered materials

△ [21a-C202-6] Evaluation of Thermal Conductivity Characteristics of WS₂ Fabricated by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Using Raman Spectroscopy

〇Yukihito Nishi¹, Kirito Cho¹, Sho Sugawa¹, Hideaki Machida², Masato Ishikawa², Hiroshi Sudou², Hitoshi Wakabayashi³, Ryo Yokogawa^1,4, Atsushi Ogura^1,4 (1.Meiji Univ., 2.Gas-phase Growth Ltd., 3.Tokyo Tech, 4.MREL)

Keywords:TMD, WS2, Raman Spectroscopy

二硫化タングステン(WS₂)は遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)の中でも高キャリア移動度を有し、層数に応じてバンドギャップが変化することから、次世代高機能デバイス材料として注目されている。WS₂薄膜の熱輸送をナノオーダーで理解することで、電圧印加によるデバイスの自己発熱を制御でき極薄膜トランジスタに応用ができる。本研究では高波数分解能を有するラマン分光器を用い、WS₂薄膜の熱伝導特性を評価した。