[21a-C202-1~12] 17.3 層状物質

△ [21a-C202-6] ラマン分光法による有機金属化学気相成長法で作製したWS₂薄膜の熱伝導特性評価

〇西 優貴人¹、張 桐永¹、寿川 尚¹、町田 英明²、石川 真人²、須藤 弘²、若林 整³、横川 凌^1,4、小椋 厚志^1,4 (1.明治大理工、2.気相成長株式会社、3.東工大、4.明大MREL)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、二硫化タングステン、ラマン分光法

二硫化タングステン(WS₂)は遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)の中でも高キャリア移動度を有し、層数に応じてバンドギャップが変化することから、次世代高機能デバイス材料として注目されている。WS₂薄膜の熱輸送をナノオーダーで理解することで、電圧印加によるデバイスの自己発熱を制御でき極薄膜トランジスタに応用ができる。本研究では高波数分解能を有するラマン分光器を用い、WS₂薄膜の熱伝導特性を評価した。