[21a-C306-1~10] 7.2 Applications and technologies of electron beams

[21a-C306-8] Reexamination of electron emission under extremely low extraction biases

〇(M1)Yukino Inaba¹, Sakura Kabeya¹, Sakiho Morioka¹, Ayaka Waki¹, Mako Yoshida¹, Yuuka Kunieda¹, Eiji Rokuta¹, Hidekazu Murata¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:nano electron source, field emission, oxygen etching

タングステン針先を、原子レベルで先鋭化することができれば、さらに収束性の高い電子源として用いることが可能になる。近年、電界支援酸素エッチングにより先鋭化されたタングステン針から極低バイアス電子放出が報告された。そこで、我が研究室でもタングステン針に試料作製法である電界支援水エッチング及び酸素エッチングを実施して極低バイアス電子放出の再現を試みた。