[21a-C306-1~10] 7.2 電子ビーム応用

[21a-C306-8] 極低バイアス電子放出の再現

〇(M1)稲葉 雪乃¹、壁谷 桜¹、森岡 咲帆¹、脇 彩花¹、吉田 真子¹、國枝 夕夏¹、六田 英治¹、村田 英一¹ (1.名城大理工)

キーワード：ナノ電子源、電界放出、酸素エッチング

タングステン針先を、原子レベルで先鋭化することができれば、さらに収束性の高い電子源として用いることが可能になる。近年、電界支援酸素エッチングにより先鋭化されたタングステン針から極低バイアス電子放出が報告された。そこで、我が研究室でもタングステン針に試料作製法である電界支援水エッチング及び酸素エッチングを実施して極低バイアス電子放出の再現を試みた。