[21p-A106-1~18] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[21p-A106-17] 高抵抗Si(111)基板上における多層シリカンナノシートの形成

伊藤 善常¹、柴山 茂久¹、坂下 満男¹、中塚 理^1,2、〇黒澤 昌志¹ (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：シリカン、ナノシート