[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

[21p-B104-1] 半導体産業におけるグリーン化戦略の重要性について述べる。

〇益 一哉¹ (1.東工大)

キーワード：グリーンイノベーション、半導体

半導体開発とグリーンイノベーション