[21p-B104-1~8] グリーン化に挑戦する半導体製造・プロセス技術

[21p-B104-5] 拡張知識による半導体産業の技術革新

〇石田 真彦^1,2 (1.NEC SSPF研、2.AIST NEC-産総研量子連携ラボ)

キーワード：インフォマティクス、自然言語処理、最適化

大きな変革期を迎えている半導体製造技術開発の分野で、マテリアルズインフォマティクス（MI）、プロセスインフォマティクス（PI）の活用する方向性として、従来研究者だけが持っていた抽象的で不定形な情報も網羅的に集約して、拡張した知識データとしてAIの学習に役立てる取り組みについて述べる。特に、研究者個人の力では活用しきれない膨大な文献情報を使って学習した自然言語処理モデルの活用の課題、可能性についても議論する。