[21p-B104-1~8] Semiconductor Manufacturing and Process Technologies for Green Transformation

[21p-B104-5] Augmented Knowledge for Technology Innovation in Semiconductor Industry

〇Masahiko Ishida^1,2 (1.NEC Corp., 2.AIST)

Keywords:Informatics, Natural Language Processing, Optimization

大きな変革期を迎えている半導体製造技術開発の分野で、マテリアルズインフォマティクス（MI）、プロセスインフォマティクス（PI）の活用する方向性として、従来研究者だけが持っていた抽象的で不定形な情報も網羅的に集約して、拡張した知識データとしてAIの学習に役立てる取り組みについて述べる。特に、研究者個人の力では活用しきれない膨大な文献情報を使って学習した自然言語処理モデルの活用の課題、可能性についても議論する。