[21p-B202-1~13] 13.9 化合物太陽電池

[21p-B202-6] ドロップ蒸発堆積SnO₂およびCo₃O₄/ SnO₂ヘテロ接合

〇リ トウ¹、市村 正也¹ (1.名工大工)

キーワード：ドロップ蒸発法、Co3O4/SnO2ヘテロ

SnO₂はワイドバンドギャップを持つn型半導体であり、透明電極やガスセンサーとしてよく使われている。本研究では、基板に溶液を少量滴下してから加熱することで容易に大面積の堆積が可能なドロップ蒸発法(Drop-dry Deposition, DDD)によってSnO₂薄膜を堆積した。また、同じくドロップ蒸発法によって堆積したCo₃O₄薄膜を使用してCo₃O₄/SnO₂ヘテロ接合を作製した。