[21p-C206-1~13] 7.1 X線技術

[21p-C206-4] 極紫外顕微鏡用の高倍率対物ミラ-で生じるコマ収差の精密補正

〇津久井 雄祐¹、脇 俊太郎¹、増根 伊織¹、陳 軍¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大学)

キーワード：EUV

我々は、高倍率対物ミラーで生じる波面収差を0.1nm精度で計測するための点回折干渉計を開発してきた。前回の春季学術講演会では、照明光学系と瞳結像系で生じる波面収差を低減させ、干渉計の測定再現性をサブnm以下の精度にしたことを報告した(24a-E101-6)。本講演では、高精度波面計測法を援用した光軸調整よって、対物ミラーの姿勢誤差(偏心)によって生じる球面収差およびコマ収差を極小化させた結果について報告する。