2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[21p-P16-1~15] 6.4 薄膜新材料

2022年9月21日(水) 16:00 〜 18:00 P16 (体育館)

16:00 〜 18:00

[21p-P16-11] 反応性スパッタ法により低温堆積したYSZ薄膜の結晶性への基板温度の影響

〇(M2)周 景堯1、堀田 將1 (1.北陸先端大)

キーワード：YSZ薄膜、反応性スパッタ法、低温堆積