[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-A202-4] 熱処理したa-C:H膜の陽電子消滅測定

〇中尾 節男¹、木野村 淳²、薮内 敦²、鈴木 耕拓³ (1.産総研、2.京大複合研、3.若狭湾エネ研)

キーワード：アモルファス炭素薄膜、熱処理、陽電子消滅測定

本研究では、a-C:H膜を作成し、熱処理を行って、それぞれの熱処理温度における陽電子消滅測定を行い、その変化を比較検討した。