[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

[22a-A202-9] 大電力パルススパッタを用いたDLC成膜における投入電力密度の効果

〇太田 貴之¹、松島 丈¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工、2.千葉工大、3.岐阜大工)

キーワード：アモルファスカーボン、スパッタリング