[22a-A406-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [22a-A406-1] Au錘1軸MEMSセンサモジュールのノイズフロアの評価

〇大西 哲¹、御宿 希祐¹、Tenneti Devi Srujana¹、Chakraborty Parthojit¹、町田 克之¹、緒方 大樹¹、内富 寛隆¹、Chang Tso-Fu Mark¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：MEMS、センサモジュール、Allan分散

本論文は、微弱筋音測定のための高感度Au錘1軸MEMS（micro-electromechanical systems）加速度センサを搭載した加速度センサモジュールのノイズフロア評価について報告する。モジュールノイズフロアをAllan分散を用いて評価した結果、市販センサのノイズフロアは221.6 μG/√Hzに対し、本試作モジュールでは26.7 μG/√Hzであり、市販センサよりノイズフロアが1桁低いことを明らかにした。以上より、本モジュールにより筋音測定の定量的評価が可能になった。