[22a-A406-1~5] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [22a-A406-2] Study of simplified analytical damping constant model of Au MEMS capacitive accelerometer with perforated proof-mass structure

〇Kisuke Miyado¹, Akira Onishi¹, Devi Srujana Tenneti¹, Parthojit Chakraborty¹, Katsuyuki Machida¹, Shin-ichi Iida², Toshifumi Konishi², Masato Sone¹, Yoshihiro Miyake¹, Hiroyuki Ito¹ (1.Tokyo Tech, 2.NTT-AT)

Keywords:MEMS, damping constant, perforated proof mass

当研究室では、錘に金を用いてブラウニアンノイズを低減した静電容量型MEMS加速度センサのための、減衰定数の簡易解析モデルについて提案し検討してきた。本論文では、提案モデルを１軸差動型Au錘MEMS加速度センサに適用し、妥当性を検討したので報告する。提案モデルを統合設計環境でシミュレーションした結果、従来のモデルによるシミュレーションと比較して、実験結果と一致し、我々の提案モデルが有効であることがわかった。