[22a-A406-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [22a-A406-2] エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討

〇御宿 希祐¹、大西 哲¹、Tenneti Devi Srujana¹、Chakraborty Parthojit¹、町田 克之¹、飯田 慎一²、小西 敏文²、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード：MEMS、減衰定数、穴開き錘

当研究室では、錘に金を用いてブラウニアンノイズを低減した静電容量型MEMS加速度センサのための、減衰定数の簡易解析モデルについて提案し検討してきた。本論文では、提案モデルを１軸差動型Au錘MEMS加速度センサに適用し、妥当性を検討したので報告する。提案モデルを統合設計環境でシミュレーションした結果、従来のモデルによるシミュレーションと比較して、実験結果と一致し、我々の提案モデルが有効であることがわかった。