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一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

2022年9月22日(木) 09:00 〜 12:00 C301 (C301)

西哲平(豊田中研)、屋代英彦(産総研)

11:30 〜 11:45

[22a-C301-10] ArFエキシマレーザーによるシリコーンゴム上へのマイクロカプセル構造形成

〇(M2)岩崎楓¹、吉田剛¹、大越昌幸¹ (1.防大電気電子)

キーワード：真空紫外レーザー、表面改質、シリコーンゴム