[22a-P04-1~14] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[22a-P04-11] Inを変色層とする全固体型ECセル形成プロセス条件の探索

〇曽根原 千香¹、村田 和也¹、井上 泰志¹、高井 治² (1.千葉工大工、2.関東学院大材料表面研)

キーワード：エレクトロクロミック現象、窒化インジウム

窒化インジウム(InN)薄膜は，表面吸着物の交代に伴ってInN内のキャリア密度が増減して色変化を起こし，この現象は吸着誘起型エレクトロクロミック(AiEC)現象と呼ばれている．AiEC現象における色変化応答時間を ms オーダー以下にできれば新しい表示デバイスとして期待できることから，吸着物の交代を必要としないInNを変色層とするキャパシタ構造の全固体型ECセルを提案し，必要な各薄膜層の堆積条件を探索した．