2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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[22a-P04-1~14] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

2022年9月22日(木) 09:30 〜 11:30 P04 (体育館)

09:30 〜 11:30

[22a-P04-11] Inを変色層とする全固体型ECセル形成プロセス条件の探索

曽根原 千香1、村田 和也1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大工、2.関東学院大材料表面研)

キーワード:エレクトロクロミック現象、窒化インジウム

窒化インジウム(InN)薄膜は,表面吸着物の交代に伴ってInN内のキャリア密度が増減して色変化を起こし,この現象は吸着誘起型エレクトロクロミック(AiEC)現象と呼ばれている.AiEC現象における色変化応答時間を ms オーダー以下にできれば新しい表示デバイスとして期待できることから,吸着物の交代を必要としないInNを変色層とするキャパシタ構造の全固体型ECセルを提案し,必要な各薄膜層の堆積条件を探索した.