[22a-P04-1~14] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[22a-P04-5] プラズマ支援ミストCVDによる３次元ナノ構造酸化亜鉛薄膜形成に向けたプラズマ中の液滴蒸発挙動の解析

〇竹中 弘祐¹、都甲 将¹、節原 裕一¹ (1.阪大接合研)

キーワード：ZnO、ミストCVD