[22a-P04-1~14] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[22a-P04-6] 低圧Ar/CH₄プラズマの排気ガス組成の数値解析

〇佐々木 瞬¹、上坂 裕之²、小田 昭紀¹ (1.千葉工大、2.岐阜大)

キーワード：低温プラズマ、低圧プラズマ、排気ガス

CO₂やCH₄等に代表される温室効果ガスは地球温暖化の形で環境に悪影響を与えるため，削減に向けた取り組みが行われている．半導体製造プロセスにおいては，プラズマプロセスが全体の70-80％を占めており，これらプラズマプロセスで生じた排ガスの抑制や有効利用などを検討することが必要である．本研究では，DLC成膜を目的としたAr/CH₄低圧RFプラズマを対象に，本プラズマ中で生成された様々なガスの排気量や組成に着目した解析を行った．