[22p-A202-1~22] 6.2 Carbon-based thin films

[22p-A202-10] Negative Bias Frequency Effects on Structural and Mechanical Properties of Nanodiamond Composite Films Deposited by Coaxial Arc Plasma

〇(M2)Seishiro Saito¹, Ali Mohamed^1,2, Koki Murasawa³, Hiroshi Naragino¹, Tsuyoshi Yoshitake¹ (1.Kyushu Univ., 2.Al-Azhar Univ., 3.OSG Corp)

Keywords:diamond, hardcoating

ナノダイヤモンド膜は，高硬度，低摩擦係数，高い生態親和性を有するため，硬質皮膜やバイオセンサーへの応用が期待されている．本研究では，物理気相成長法の一種である同軸型アークプラズマ堆積法で成膜したナノダイヤモンド膜の成長に及ぼす負バイアス周波数の影響を調査した．また，基板への負バイアスの印加が膜の機械的特性および構造的特性に与える影響について調査した．