[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

[22p-A202-10] CAPD法によって成膜されたナノダイヤモンド混相膜の構造的・機械的特性に対する負バイアス周波数の影響

〇(M2)齊藤 誠志郎¹、アリ モハメド^1,2、村澤 功基³、楢木野 宏¹、吉武 剛¹ (1.九大総理工、2.アル＝アズハル大学、3.オーエスジー株式会社)

キーワード：ダイヤモンド、硬質皮膜

ナノダイヤモンド膜は，高硬度，低摩擦係数，高い生態親和性を有するため，硬質皮膜やバイオセンサーへの応用が期待されている．本研究では，物理気相成長法の一種である同軸型アークプラズマ堆積法で成膜したナノダイヤモンド膜の成長に及ぼす負バイアス周波数の影響を調査した．また，基板への負バイアスの印加が膜の機械的特性および構造的特性に与える影響について調査した．