[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

[22p-A202-11] ホウ素ドープダイヤモンド陰極を用いた直流グロープラズマ源

〇宮崎 久生¹、吉田 学史¹、木村 重哉¹ (1.東芝RDC)

キーワード：ダイヤモンド、プラズマ、電子源

ダイヤモンドは2次電子放出効率の高さ、イオン衝突耐性、高融点といったガス放電陰極に求められる性質を兼ね備えている。また、高い熱伝導率により陰極の過熱を抑制し、大電流までアーク移行せずにグロー放電を維持することが期待される。我々は、軸方向磁場を印加したホローカソードを用いた直流放電装置を作製した。本報告では、陰極にホウ素ドープダイヤを用い、その成長温度による放電特性の違いを評価した結果について示す。