[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

[22p-A202-12] HF-CVDによるダイヤモンド膜形成における未処理超硬基板のCo挙動観察

〇税木 善則¹、坂東 隆宏¹、針谷 達¹、滝川 浩史¹、服部 貴大²、杉田 博昭²、河原 夏江³、田中 久仁彦³ (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス（株）、3.長岡技科大)

キーワード：ナノダイヤモンド膜、熱フィラメントCVD法、多結晶ダイヤモンド

航空機や自動車の軽量化のために，軽量かつ高強度のCFRPの需要が高まっている。CFRPの切削加工では，ダイヤモンドコート工具が用いられる。基板として，工具の母材に用いられる超硬合金を用いた。超硬合金に金属バインダとして含まれるCoは表面に不均一な形成を引き起こすことが知られている。本研究ではHF-CVD法で異なる成膜時間のMCDおよびNCD膜を作製し，核形成から膜形成過程での表面の異常成長やCo拡散メカニズムについて検討する。