[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

[22p-A202-2] 四面対向式スパッタリング法による撥水性水素フリーDLCの評価

〇小林 風太¹、猿渡 哲也¹ (1.京浜ラムテック)

キーワード：水素フリーDLC、撥水性、四面対向式スパッタリング

自社開発の四面対向式スパッタリングカソード(RAMカソード)を用いて撥水性且つ高硬度を持つ水素フリーDLCの形成を目的とする。従来の水素フリーDLCの接触角は65~75°、水素含有DLCは75~90°を示す。接触角測定の結果83.1°を得た。平滑性はRa:0.88nmが得られた。平滑性により撥水性が向上したと予想される。水素含有DLCと同等以上の撥水性を持つ水素フリーDLCの形成が可能である。