[22p-A307-1~17] CS.7 6.1 強誘電体薄膜、13.3 絶縁膜技術、13.5 デバイス／配線／集積化技術のコードシェア

[22p-A307-6] “負性容量”を利用したFETのSファクタ改善に関する考察

〇鳥海 明¹、右田 真司² (1.自由業、2.産総研)

キーワード：負性容量

負性容量を用いたFETのSファクター改善に関して議論する