[22p-B204-1~18] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

△ [22p-B204-12] OVPE-GaN基板上pnダイオードにおける伝導度変調の解析

〇宇佐美 茂佳¹、太田 博²、滝野 淳一³、渡邉 浩崇⁴、隅 智亮³、今西 正幸¹、新田 州吾⁴、本田 善央⁴、森 勇介¹、三島 友義²、岡山 芳央³、天野 浩⁴ (1.阪大院工、2.法政大学、3.パナソニックホールディングス(株)、4.名大未来研)

キーワード：OVPE法、pnダイオード、伝導度変調