[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

△ [22p-C105-15] LiNbO₃/水晶接合構造のリーキーSAW五次高調波の共振特性

〇(M1)森田 響生¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、水野 潤² (1.山梨大、2.早稲田大)

キーワード：弾性表面波、異種材料接合、五次高調波

前報では，LiNbO₃(LN)薄板とQzを異種材料接合させた構造上のLSAW三次高調波を実験的に評価した結果を報告した．本報では，同構造におけるLSAW五次高調波の共振特性と周波数温度係数(TCF)を理論的，実験的に検討した結果を報告する．結果としては，LN/Qz構造はLN単体よりも強勢に五次高調波を励振することを実験的に明らかにした．また，TCFは，三次高調波と同様に五次高調波も大きな絶対値を示した．