[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

[22p-C105-9] [講演奨励賞受賞記念講演] 高周波フィルタ応用に向けた高次モード極性反転Ge(Si)AlN/AlN多層膜共振子

〇関本 淳¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大学)

キーワード：窒化アルミニウム、極性制御、極性反転膜

極性反転構造を圧電膜に用いた音響共振子は高次モードで共振するため周波数フィルタの高周波化に最適であると考えている。しかし、AlN薄膜の極性反転構造の多層化を実現できる極性制御方法はこれまで報告されていない。本講演ではSi, GeドープによるAlN薄膜の極性制御，その膜の圧電性について紹介する．さらに，Ge(Si)AlN/AlN構造の極性反転多層膜音響共振子の周波数特性について示す．