[22p-C200-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [22p-C200-13] AlN ナノピラー上 AlGaN のウェットエッチングによるサファイア基板剥離の検討

〇(M1)松原 衣里¹、西林 到真¹、長谷川 亮太¹、近藤 涼輔¹、井本 圭紀¹、山田 凌矢¹、榊間 隆一郎¹、岩山 章^1,2、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、三宅 秀人² (1.名城大理工、2.三重大院理工)

キーワード：AlGaN、ウェットエッチング