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一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

2022年9月22日(木) 13:30 〜 17:45 C205 (C205)

松崎浩之(東大)、盛谷浩右(兵庫県立大)、藤井麻樹子(横国大)

16:00 〜 16:15

[22p-C205-10] O₂-GCIBとacac吸着によるNiパターンのエッチング

〇作田昂大¹、竹内雅耶¹、豊田紀章¹ (1.兵庫県立大工)

キーワード：ガスクラスターイオンビーム