[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析 、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-13] 真空エレクトロスプレー液滴イオンビームによるスパッタ体積とスプレー電圧の関係

〇常木 誠之助¹ (1.山梨大工)

キーワード：イオンビーム

我々の研究室では真空下で水溶液をエレクトロスプレーすることによって発生させた帯電液滴をイオンビームとして用いる真空エレクトロスプレー液滴イオンビームの研究をしている。本研究では帯電液滴のサイズやその分布など帯電液滴そのものの基本的な特性について明らかにするため、エレクトロスプレー発生部のキャピラリーの内径やスプレー電圧を変化させ、帯電液滴のサイズやスパッタ体積がどのように変化するのかを調査した。