[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [22p-C301-7] 非熱的・熱的加工領域におけるレーザーアブレーション閾値パルス幅依存性の精密測定

〇遠藤 翼¹、櫻井 治之¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、熱拡散、任意波形ナノ秒パルスレーザー

レーザー光による物質の破壊過程を解明するため、LDをシードとした200 ps – 1 μs パルス幅可変レーザーと、モード同期レーザーのチャープ制御による270 fs – 11 psパルス幅可変レーザーを用いて、金属および半導体におけるアブレーション閾値のパルス幅依存性の精密測定を行った。