[22p-P13-1~28] 12.1 作製・構造制御

[22p-P13-17] 自己組織化膜表面に吸着したダイヤモンドナノ粒子薄膜のTEM観察

〇小熊 涼太¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹、大石 不二夫² (1.農工大院工、2.神奈川大理)

キーワード：自己組織化膜、ダイヤモンドナノ粒子

ダイヤモンドの有機デバイスへの応用を目標とし、自己組織化膜(SAM)表面にダイヤモンドナノ粒子(DNP)を吸着させることでダイヤモンド膜を製膜し、透過型電子顕微鏡(TEM)で観察を行った。ビニル基末端を持つVTMSを材料として基板上にVTMS-SAMを製膜し、酸化処理を施しカルボキシ基末端を持つox-VTMS-SAMを得た。ox-VTMS-SAMをDNPの水分散液に浸漬しDNPをox-VTMS-SAM上に吸着させて試料を作成した。試料の断面をTEMで観察すると膜厚が約40nmのDNP層が確認できた。