[22p-P17-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22p-P17-8] その場XRD-RSM を用いたRF-MBE
GaInNヘテロエピタキシャル成長における緩和過程観察

〇(M1)竹内 丈¹、佐々木 拓生²、藤川 誠司²、横山 晴香¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹、山口 智広¹、名西 憓之³ (1.工学院大学、2.量研、3.立命館大学)

キーワード：MBE、GaInN