[23a-B101-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[23a-B101-2] 一価のアルコールの構造の影響を受けるプラズマポリマー

〇田口 貢士¹、柏木 大樹¹、山原 基裕¹、登尾 一幸¹ (1.株式会社魁半導体)

キーワード：プラズマポリマー、一価のアルコール、FT-IR

アルコール原料の構造の相違が、生成されるプラズマポリマーの構造に及ぼす影響を一価のアルコールを用いて検討した。CVD成膜において、三価のアルコールであるグリセリンと一価のアルコールの混合液からプラズマポリマーを成膜した。構造についてFT-IRスペクトルから帰属し、三級炭素を有する一価のアルコールについて、三級炭素の構造に由来する吸収が確認された。その詳細な考察について発表当日に議論する。