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△ [23a-B101-5] ドロップレットフィルタ兼用陽極を用いた直流フィルタードアーク蒸着によるTiN膜形成
キーワード:フィルタードアーク蒸着、窒化チタン膜、真空アーク蒸着
直流アーク電流自身によってフィルタ磁界を発生させる屈曲状フィルタードアーク蒸着装置を新開発した。本装置を用いてTiN膜を作製し,薄膜の表面観察およびプラズマビームの観察を行った。実験結果から,本装置では直流アーク放電においてコイル状陽極を用いてプラズマを磁気的に輸送できることが分かった。また,真空アーク蒸着法で問題視されているドロップレットの付着が極めて少ない膜を形成できることがわかった。