2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[23a-B101-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2022年9月23日(金) 09:00 〜 11:45 B101 (B101)

竹中 弘祐(阪大)、内田 儀一郎(名城大)

10:00 〜 10:15

[23a-B101-5] ドロップレットフィルタ兼用陽極を用いた直流フィルタードアーク蒸着によるTiN膜形成

鬼頭 純平1、橋本 侑樹1、税木 善則1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス)

キーワード:フィルタードアーク蒸着、窒化チタン膜、真空アーク蒸着

直流アーク電流自身によってフィルタ磁界を発生させる屈曲状フィルタードアーク蒸着装置を新開発した。本装置を用いてTiN膜を作製し,薄膜の表面観察およびプラズマビームの観察を行った。実験結果から,本装置では直流アーク放電においてコイル状陽極を用いてプラズマを磁気的に輸送できることが分かった。また,真空アーク蒸着法で問題視されているドロップレットの付着が極めて少ない膜を形成できることがわかった。