[23p-B102-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[23p-B102-2] RFスパッタリングSi / C複合膜の堆積と高容量Liイオン電池負極への応用

〇山田 輝也¹、木賀 海青¹、花井 稜¹、益本 幸泰¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大学理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、リチウムイオン電池