[23p-B202-1~13] 17.2 Graphene

[23p-B202-3] Synthesis of Multi-Layer Graphene by Plasma CVD

〇Shunsuke Kawaki¹, Kazunori Kawaka¹, Takako Nakamura¹, Yoshinori Koga¹, Masataka Hasegawa¹ (1.AirMembrane Corp.)

Keywords:Graphene, Graphite thin-film, Multi-Layer film

現在熱マネージメント用途などで使われているグラファイト薄膜の市販品は最も薄いものでも10μm程度であり、
更に薄い1μm以下の膜の商品化が期待されている。本研究ではプラズマCVD法を用いてニッケルを基板として
より薄いグラファイト薄膜（多層グラフェン膜）を合成した。この膜は良好な結晶性を有し、膜厚は数十nmから200nm以上
まで制御可能であり自立膜として取り扱い可能である。