[23p-B202-1~13] 17.2 グラフェン

[23p-B202-4] CVD法によるランダム多層グラフェン合成とその電気特性

〇近藤 大雄¹、伏見 直樹¹、片岡 真紗子¹、乗松 正明¹、林 賢二郎¹、佐藤 信太郎¹ (1.富士通)

キーワード：グラフェン、多層、CVD

我々は化学気相成長法により光学素子として適用可能なランダム多層グラフェンの合成と材料評価を行ってきた。今回、光学センサとしての適用を目的とした素子加工プロセスを開発し、作製した素子の電気特性評価を行ったので詳細を報告する。